Sensory i przetworniki MEMS - przegląd rozwiązań rynkowych. cz. 2

W poprzednim wydaniu EP przedstawiliśmy najbardziej rozpowszechnione w różnych aplikacjach elementy MEMS: akcelerometry i magnetometry. Teraz skupimy się na czujnikach ciśnienia, żyroskopach i mikrofonach. Zajmiemy się także czujnikami wielofunkcyjnymi, integrującymi kilka sensorów w jednej strukturze MEMS.