Układy te są taktowane przebiegiem o częstotliwości do 48 MHz. Pobierają prąd rzędu 100 µA/MHz w stanie aktywnym i 7 µA w trybie uśpienia z podtrzymaniem zawartości pamięci SRAM. Przechodzą z trybu uśpienia do stanu aktywnego w czasie 3 µs. Zapewniają pełną funkcjonalność (przetwornik A/C, odczyt i zapis Flash) już przy napięciu zasilającym 1,62 V.
Nowa oferta obejmuje mikrokontrolery w wariancie podstawowym z serii SAM G51 i rozszerzonym SAM G53. Różnią się one m.in. pojemnościami wbudowanych pamięci Flash i SRAM, wynoszącymi odpowiednio 256 kB/64 kB i 512 kB/96 kB oraz interfejsem I2S dostępnym w układach z serii G53.
Wszystkie mikrokontrolery są wyposażone w interfejsy USART, UART, TWI i SPI, 16-kanałowy licznik/timer pracujący w trybach Capture/Compare/PWM, zegar RTC i 32-bitowy timer czasu rzeczywistego. Mikrokontrolery są produkowane w dwóch wariantach obudów: WLCSP-49 (3 mm×3 mm) i TQFP-100. Pracują w przemysłowym zakresie temperatury.